2020.02.27by 이수민 기자
KLA가 아처 750 오버레이 계측 시스템과 스펙트라셰이프 11k CD 및 차원 형상 계측 시스템’을 출시했다. 아처 750 오버레이 계측 시스템은 공정 변동이 존재하는 상황에서 오버레이 오류를 측정한다. 스펙트라셰이프 11k CD 및 차원 형상 계측 시스템은 웨이퍼 형상, 구조, 소재 등을 측정하며, 생산 가동 중 공정 모니터링이 가능하다.
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