최기영 장관, 나노종기원 12인치 웨이퍼 기반
반도체 소·부·장 테스트베드 구축현황 점검
소·부·장, 코로나19 관련 기술사업화 성과 공유


과학기술정보통신부 최기영 장관은 11일, 나노종합기술원(나노종기원)에 구축되는 12인치 반도체 소재·부품·장비 국산화 지원 테스트베드 현장을 찾아 진행 상황을 점검하고, 테스트베드 활성화를 위한 간담회를 개최했다.

테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 실장 환경을 구축하여 중소기업의 소재·부품·장비에 대한 실험·성능평가를 지원하는 역할을 한다. 과기정통부는 작년 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심 장비 도입(10대)을 추진하고 있다.

나노종기원의 12인치 웨이퍼 기반 반도체 테스트베드 구축에는 2019년부터 2022년까지 450억 원(장비구축 385억 원, 시설 43억 원, 공정개발 22억 원)이 투입된다.

지난 6월에 테스트베드 전용 클린룸이 구축됐고, 지난 7월에는 불화아르곤 액침(ArF Immersion) 노광기와 트랙이 입고됐다. 그 외 장비(8대)들은 연내 입고 완료될 예정이다. 장비구축과 동시에 시범서비스를 제공하고, 공정고도화를 통해 서비스의 질적 수준을 높일 방침이다.

현장점검 후 실시된 간담회에는 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯하여 한국반도체산업협회와 삼성전자, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 관계자 다수가 참석하여 테스트베드 발전을 위한 기업 건의 사항, 상생 협력방안 등에 대해 논의했다.

간담회에서는 최근 나노종기원 팹을 활용하여 기술개발과 사업화에 성공한 기업들의 성공사례들도 소개되었다. △㈜트루윈은 적외선 열 영상센서, △㈜티엔에스는 코로나19 진단키트, △㈜템퍼스는 비접촉식 적외선 체온계, △DCT㈜ 메모리반도체용 하드마스크를 제작했다.

최기영 장관은 간담회에서 “테스트베드를 거친 소재·부품들이 실제 수요기업의 구매로 이어지는 것이 가장 중요하다”라며, “나노종기원의 중소기업에 대한 테스트베드 서비스 질의 향상과 최종 수요기업의 적극적인 접근이 중요하다”라고 강조했다.

나노종기원은 테스트베드의 기초․적용 단계 성능평가 결과를 수요기업의 양산평가에 연계할 수 있도록 한국반도체산업협회와의 협력을 강화하는 한편, 개방 장비 및 이용 시간 확대, 인력확충 등을 통한 전반적인 서비스 혁신을 추진할 계획이다.

또한, 코로나19와 같은 감염병 이슈 해결을 위해 나노팹 장비와 공정기술을 기반으로, 대학․연구소, 병원, 기업 등과의 협업을 통한 나노바이오 디바이스 개발도 더욱 적극적으로 추진할 예정이다.