전자부품연구원(KETI)가 범용 광원과 디지털카메라로 나노입자분석 등에 활용할 수 있는 2차우너 영상기반 광산란 신호 해석기술을 개발했다고 밝혔다.
관산란 신호 해석기술은 광산란 현상을 이용해 나노입자 크기 계측, 광학소재 물성 측정, 디스플레이 디바이스 검사, 세포 및 바이오 물질의 특성 등을 측정할 수 있는 핵심원천기술이다.
기존에는 레이저를 조사해 발생되는 광산란 신호를 특정 각도에서 1차원 광검출기를 이용해 검출하는 점 단위 측정방식을 활용했다. 면 단위로 추출되는 2차원 광산란 신호에 대한 물리적 해석이 어렵고, 신호비(S/N ratio) 향상에 제한이 있었기 때문이다.
기존의 1차원 광검출기 한계점 극복
기술이전으로 절반 가격 나노입도 분석기기 판매 중
전자부품연구원(KETI)가 범용 광원과 디지털카메라로 나노입자분석 등에 활용할 수 있는 2차원 영상기반 광산란 신호 해석기술을 개발했다고 밝혔다.
광산란 신호 해석기술은 광산란 현상을 이용해 나노입자 크기 계측, 광학소재 물성 측정, 디스플레이 디바이스 검사, 세포 및 바이오 물질의 특성 등을 측정할 수 있는 핵심원천기술이다.
기존에는 레이저를 조사해 발생되는 광산란 신호를 특정 각도에서 1차원 광검출기를 이용해 검출하는 점 단위 측정방식을 활용했다. 면 단위로 추출되는 2차원 광산란 신호에 대한 물리적 해석이 어렵고, 신호비(S/N ratio) 향상에 제한이 있었기 때문이다.
기존 및 개발된 광산란 측정 장치 개념도
KETI 디스플레이 소재부품연구센터 윤범진 박사 연구팀이 개발한 원천기술은 디지털카메라를 활용해 2차원 실공간에서 광산란 신호를 측정하고 2차원 퓨리에 해석기법으로 분석하는 원리이다. 시료의 변화를 영상을 통해 직관적으로 확인할 수 있고, 역공간을 활용하는 1차원 해석기술의 다양한 한계점을 극복할 수 있다.
이 원천기술은 미래창조과학부와 산업통상자원부가 공동으로 지원하는 ‘나노융합 2020사업단’의 지원으로 원포시스로 기술이전 돼 작년 3분기부터 기존 나노입도 분석기기 대비 절반 내외의 가격에 시판 중이다.