중국의 SMIC가 EUV 장비 부재에 7㎚ 이하 양산에서 한계를 느끼고 있는 것으로 전해졌다.

SMIC는 최근 투자자들과의 컨퍼런스 콜에서 EUV 장비 도입 불가로 7㎚이하의 최첨단 공정에 어려움을 겪고 있다고 밝혔다.

SMIC는 투자자들의 자체 EUV 장비를 개발할 계획이 있냐는 질문에 SMIC는 자체 EUV 장비 개발에 대한 계획이 없으며, ASML과 EUV 장비 도입을 위해 구매협상을 하고 있다고 전했다.

현재 EUV 장비 수급은 어려운 상황으로 ASML로부터 도입되는 장비는 여전히 DUV급이고, ASML로부터 들여오는 장비 구입에 총 12억달러를 지불했다고 밝혔다.

ASML과 구매합의 기한은 지난 2018년 1월1일부터 2020년 12월31일까지였으나, 최근 2018년 1월1일부터 2021년 12월31일까지로 연장했다고 언급했다.

현재 SMIC는 0.35미크론에서 14㎚까지의 다양한 기술을 서비스하고 있으며, 2021년 2분기 매출은 13억4,400만달러로 전분기 대비 21.8% 증가했고, 전년동기대비 43.2% 증가한 바 있다.