수율 향상 위한 다양한 반도체 재료 소재 포트폴리오 제공
첨단 반도체 및 LED 수율 개선하는 가스 정제 시스템 플랫폼 발표

“우리는 수율(Yield) 프로바이더이다”

전자 산업용 특수화학물질 및 첨단 소재 처리 솔루션 업체인 인테그리스(Entegris)는 스스로 반도체 기업의 수율을 향상시키는데 일조하는 기업이라고 강조한다. 

수율이 높을수록 생산성이 높다는 의미이므로 반도체 생산라인에서는 수율을 높이는 것이 중요하기 때문이다. 그래서 이 업체는 폭넓은 기술력으로 최첨단 제조 환경에서 수울을 높이는 재료와 솔루션을 제공하고 있다는 점을 강조한다. 


▲인테그리스 코리아의 홍완철 사장

문제는 갈수록 더해가는 미세 공정에서 수율을 높이는데 한계가 왔다는데 인테그리스와 같은 특수 재료 업체의 역할이 커지고 있다. 인테그리스 코리아의 홍완철 사장은 이에 “수율을 결정하는 요인은 제조 환경과 장비에 있다”고 전제하며 “하지만 이들 요소들은 30나노 이하 공정에서는 한계에 다다르면서 이제 소자, 케미컬, 소재 등의 요소들이 수율을 향상시키는데 중요한 요소가 되었다. 이러한 점에서 디펙을 검사, 개선하고 첨단 소재를 통한 디펙을 제어해야 수율을 올릴 수 있다”고 말헀다. 

다시 말해, 14nm 이하 미세 공정으로 갈수록 보이지 않는 일명, ‘블랙박스’ 검사의 한계를 극복하기 위해 특수 재료 소재로 수율을 높여야 한다는 얘기다. 이처럼 ‘보이지 않는 수율’을 개선하기 위해 인테그리스는 주입에서 리소그래피, 증착, 건식 에칭, 습식 클리닝, CMP, 제조시설에 이르기까지 핵심 반도체 7대 공정에 주요 케미컬, 여과 및 정제, 재질 관리 제품을 제공하고 있다. 

구체적으로 인테그리스가 제공하는 개발 프로젝트에는 광화학물질 대량 여과, 주입용 붕소 혼합물, 증착용 고체 전구체, 핵심 응용분야용 특수 코팅, CMP 패드 컨디셔너 등의 제품군이 있다. 

특수 재료의 특성상 중요한 요소의 하나인 공급망 내 순도 보장에 대해서 홍완철 사장은 “제조, 운송, 재고, 서브팹 주기 시간, 툴 주기 시간 등 생산에서 소비까지 광화학 순도를 보장하는 솔루션을 확보하고 있다”며, “까다로운 수준의 순도를 맞추기 위해 PPQ를 만족하고 있다”고 말했다. PPQ(Pars per quadrillion)는 샌프란시스코만 전체에서 피라미 한마리를 찾을 확률과 같다.

인테그리스 한국은 현재 4개의 사무소에 200명의 직원이 근무하고 있으며 원주공장(유체 관리용 제품), 한국기술센터(KTC), 장안공장 등의 제조 시설을 갖추고 있다. 

▲가스 정제용 플랫폼 GateKeeper® Gas Purification Systems(GPS)

특히, 장안공장에서 생산하는 GateKeeper® Gas Purification Systems(GPS) 제품군은 반도체 및 LED 응용 분야의 웨이퍼 수율을 개선해 주는 새로운 첨단 가스 정제용 플랫폼으로 주목받고 있다. 

신규 GateKeeper GPS 제품군은 새로운 정제 미디어를 사용하여 보다 광범위한 유량에서 등급 최고의 가스 정제도를 제공하고 필요한 장비 공간은 줄였다. 인테그리스는 현재 한국에서 제조 능력이 확대되어 북미와 아시아 지역에서 GateKeeper GPS 시스템을 생산한다.

첨단 노드용 반도체 공정 및 LED 제조 요구사항은 공정 가스에서 발견되는 결함 유발 오염 물질을 제거할 수 있도록 더욱 높은 순도를 요구한다. 이 시스템군은 가스 기류 내의 여러 오염 물질을 1조분의 1분율 단위 수준으로 제거하며 CDA, N2, H2, EUV용 H2, Ar, NH3 등 가스를 정화한다. 

회사 측은 컴팩트해진 이시스템 덕분에 고객은 줄어든 공간을 다른 필요한 도구에 할애하거나 추가 시스템으로 정제 유량을 늘릴 수 있다고 밝혔다. 10일까지 열리는 SEMICON Korea 전시회에서 인테그리스(D홀 5504번 부스) 제품을 직접 확인할 수 있다.