XCEDE, 가혹한 조건의 반도체공정에서 제품의 수명주기 연장

최근 진공 펌프의 핵심부품에 대한 새로운 부식방지 코팅기술을 선보인 바 있는 에드워드 코리아(www.edwardsvacuum.com)가 10일까지 열리는 SEMICON 코리아 전시회에 참가해 관련 기술을 소개했다. 

진공 및 가스처리 솔루션의 전문 생산업체인 에드워드는 가혹하고 부식성이 강한 반도체 제조 공정에 사용되는 진공 펌프에 핵심 기술을 제공한다. 

회사 측은 신규 부식방지 기술인 XCEDE를 통해 향상된 부식 저항성은 결과적으로 제품의 고장시간을 감축하고 나아가 수명주기를 혁신적인 수준으로 연장시킨다고 밝혔다. 

▲EZENITH

에드워드 코리아의 이성민 대표이사는 “XCEDE는 고객의 문제에 대하여 높은 수준의 응용지식과 혁신적 방식으로 접근하는 에드워드의 차별화된 솔루션을 매우 잘 보여주는 신규 기술입니다”라고 언급하였으며 “이 기술을 통해 우리는 펌프 수명주기를 혁신적인 수준으로 연장시켰으며 예기치 못한 제품의 고장까지도 방지할 수 있습니다”라고 덧붙였다. 

반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조에서의 거친 에칭, 세정 및 증착 공정은 고온의 상태에서 부식성 물질을 사용하며 진행이 되며 이러한 환경에서 매우 빠른 속도로 좁은 공간에서 회전하는 진공 펌프의 내부 부품은 높은 부식도에 노출된다. 또한 기존의 화학적 또는 전기 화학적 코팅 공정은 제어하기가 어려워 부식이나 마모가 생기는 경우가 높다. 

XCEDE는 최첨단 시설을 갖춘 천안 생산공장에 새로 설치된 전자 자동화 방식 이중 코팅 솔루션으로, 다방면의 테스트를 거쳐 XCEDE 코팅 솔루션의 내구성과 제품수명증대 능력을 검증했다. 
  
이러한 XCEDE 코팅 솔루션은 신규 iXM, iXH 펌프 시리즈의 생산에 적용될 예정이며 기존 생산된 제품에도 적용, 제품 업그레이드 역시 가능하다. 

환경과 유지비용 절감하는 펌프 제품 다수 소개

에드워드코리아는 이번 전시회에서 XCEDE 코팅 솔루션 외에도 아래와 같은 제품들을 선보인다. 


▲iXM1200 MK2 

iXM MK2는 친환경생산을 위해 설계된 제품으로서, 효율적인 에너지 펌핑 메커니즘을 통해 기존의 건식펌프 대비 43%절감된 전력을 소비하여 환경과 유지비용 절감에 크게 기여한다. iXL200는 또한 로드락(load-lock) 및 클린 애플리케이션에 사용 가능한 초소형, 초경량 제품으로 저전력 기능을 통해 환경과 유지비용을 절감한다.  iXA 4506는 반도체, FPD, LED, 태양광제조 등 대형, 고유량 애플리케이션을 위한 “올인원” 솔루션으로서 제어부 및 AC/DC 전원부를 일체형으로 모듈화하여 초소형화를 실현한 일체형 터보 분자펌프이다.

EZENITH 시스템은 기존 Zenith 라인에서 더욱 향상된 펌핑 및 가스처리기술이 적용된 제품군으로, 공정 진행 중 전 과정에서 배출되는 유해물질의 일괄 처리가 가능하다. 또한 건식 펌프와 가스처리장치를 하나의 관리 유닛으로 통합함으로써 환경 안전적 관리를 극대화하였다.