ArF용 블랭크 마스크 시제품, 하반기 양산
정부, 소부장 80대 품목 R&D에 1.2조 원 지원
소부장 100대 품목 상용화엔 2천억 원 이상 투입


SKC는 20일, 일본 의존도가 90% 이상인 ArF용 등 하이엔드급 블랭크 마스크(Blank Mask) 시제품을 현재 국내 수요기업과 테스트 중이며, 하반기 본격 양산 예정이라고 밝혔다.

석영유리에 금속막, 감광막 등을 발라 제조하는 블랭크 마스크는 회로 패턴을 그리기 전 포토마스크 원판으로, 반도체 공정의 핵심소재이며, 대일본 수입 상위 20대 핵심 소부장 품목에 해당된다.

블랭크 마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 KrF(불화크립톤, 248nm), ArF(불화아르곤, 193nm), EUV(극자외선, 13.5nm)용으로 구분되며 일반적으로 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.

SKC는 2018년부터 총 430억 원을 투자하여 블랭크 마스크 신규공장을 2019년 말 완공한 바 있으며, 이번 양산 품목보다 수준이 높은 제품을 2021년 양산 목표로 개발 중이다.

정승일 산업통상자원부 차관은 20일 오전, 천안에 있는 SKC 블랭크 마스크 공장에 방문하여 국산화 성과에 감사를 표하고 그간 정부의 소부장 정책성과를 밝혔다.

정 차관은 “20대 품목은 2021년 공급 안정성 확보 목표로 국내생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 계획대로 추진 중”이라며, 특히 “일본의 대한국 수출규제 3개 품목은 공장 신증설, 외투기업 투자 등으로 올해 중 완전한 공급 안정화를 달성하겠다”라고 말했다.

또한, “나머지 80대 품목을 중심으로 올해 1.2조 원가량의 R&D 지원을 추진 중”이라며, “공급선 다변화 등을 통해 기본적 공급 안정성을 확보할 계획”이라고 말했다.

그 외에도 “소부장 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요․공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”라며 “조기성과 창출을 위해 소부장 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2,100억 원 이상을 지원할 계획이다”라고 밝혔다.

한편, SKC는 역시 일본의 3대 수출규제 품목인 불화 폴리이미드 생산에 850억 원을 투자하여 지난해 말 완공된 신규공장에서 시제품을 생산 중이다.