ETRI가 이황화몰리브덴(MoS)을 활용하여 고감도 습도 센서 기술을 개발했다. ETRI가 개발한 습도 센서의 감도는 66,000% 이상으로, 기존 센서보다 660배 이상 민감하며, 감지 시간은 0.5초로 기존 상용 센서보다 최대 12배 빠르다.
직접 접촉 없이도 약 1cm 거리 습도 감지
기존 센서 대비 660배 민감하고 12배 빨라
엘리베이터 버튼 등 코로나19 방역에 적합
국내 연구진에 의해 터치하지 않고도 1cm 내외서 습도 감지가 가능한 센서 기술이 개발됐다.
▲ 센서의 구조 및 패치형 센서의 구성 [사진=ETRI]
한국전자통신연구원(ETRI)은 13일, 이황화몰리브덴(MoS)을 활용하여 고감도 습도 센서 기술을 개발했다고 밝혔다.
ETRI가 개발한 습도 센서의 감도는 66,000% 이상으로, 기존 센서보다 660배 이상 민감하며, 감지 시간은 0.5초로 기존 상용 센서보다 최대 12배 빠르다.
연구진은 양극산화알루미늄 기판에 뚫려있는 나노 크기 구멍에 이황화몰리브덴을 코팅한 뒤, 양극산화알루미늄 기판만 녹여내어 벌집 구조를 이루는 센서를 만들어 감도를 높였다.
센서 구성 물질이 벌집 구조를 이루면 수분을 감지할 수 있는 비표면적이 넓어져 감도가 높아진다. 습도 센서의 감도가 높다면 접촉 없이도 반응 가능한 비접촉식 센서 개발도 가능하다.
개발된 소자의 크기는 5 x 5mm이며, 여러 센서를 이어붙인 패치형 센서로 개발 가능하며, 딱딱한 실리콘이나 유연한 소자 모두 활용이 가능하다.
가전제품, 산업용 전자기기뿐만 아니라 원전계통 내방사선 센서로 활용할 수 있고, 최근 코로나19 확산으로 인한 생활 방역 관련 기술로 많은 응용이 이뤄질 전망이다.
ETRI ICT 창의연구소 신소자연구실 최춘기 박사는 "현재 이 기술의 특허 출원을 진행 중"이라며, "기술 이전이 바로 가능해 2년 내로 상용화가 가능하다"라고 밝혔다.