국내 첫 12인치 반도체 테스트베드 공식 출범
40nm 패턴 웨이퍼 제작 가능한 인프라 구축
향후 20nm 웨이퍼 제작 및 부품 테스트 지원


반도체 생산용 소재와 부품은 지난 2019년 7월, 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재·부품·장비(소부장) 기술 자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다. 일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 많은 애로가 있었다.

과학기술정보통신부는 17일, 나노종합기술원(종기원)에 구축한 12인치 반도체 테스트베드의 공식적인 서비스를 개시했다.

삼성전자, SK하이닉스 등의 반도체 대기업에서 요구하는 12인치 웨이퍼 상에서의 소재 균일도, 결함 등 완성도 평가가 국내에서 불가능했다. 이에 중소기업 대부분은 큰 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.

이러한 문제를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고, 국비 총 450억 원을 투자하여 청정실과 핵심장비 10대 구축, 장비 안정화 작업을 추진해 공식서비스를 개시했다. 반도체 소부장 기업들은 해당 서비스를 활용해 소재 성능 테스트를 지원받을 수 있다.

이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴 웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 감광제 등 반도체 핵심소재와 장비개발을 집중적으로 지원할 예정”이라며, “향후 20nm급 패턴 웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획”이라고 밝혔다.