첨단 반도체 장비인 EUV 도입에 걸림돌로 작용해 왔던 노광장비내 신소재배관 사용근거 등 반도체 특수가스 관련 규제가 개선돼 기업부담이 완화될 것으로 기대가 모아진다.

산업통상자원부(장관 이창양)는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제 11건을 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선한다고 12일 밝혔다.

산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고, 반도체 제조 용도의 수입 산업가스 수급안정을 위해 ‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴·개선해 왔다.

특히 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회·현장방문 등을 통해 도출했다.

우선 차세대 EUV(Extreme Ultra Violet : 극자외선 파장) 장비 국내도입 허용기준을 개선한다.

현행 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발완료 예정이나, 신소재 배관에 대한 고압가스법령內 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황으로, 차세대 첨단장비 선점을 위해 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후, 가스상세기준을 개정해 국내도입이 가능하도록 할 예정이다.

EUV장비 내에서 가스설비는 노광설비에 액체주석을 밀어내는 용도로 고압가스를 사용한다.

또한 방호벽 관련 다양한 설치기준 허용해 반도체 공장증설이 용이하게 할 방침이다.

지주를 기초에 묻거나 앵커볼트 고정 방식 이외에도 케미컬앵커 등의 방식을 허용하고, 기존 방호벽 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용한다. 또한 가연성 고압가스 저장용기 캐비닛 실내 보관 기준을 완화한다.

검사대상도 합리화해 저압으로 수소를 소비하는 반도체 생산장비는 검사대상에서 제외하고 분배장치부터 생산장비까지 저압수소 배관은 사업자 자율검사를 실시한다. 또한 EUV 장비 국내 반입 소요기간 단축을 위한 검사절차를 합리화한다.

이외에도 고압가스 실린더 캐비닛 대표설비 검사 허용 기준을 마련하고, 반도체 산업관련 고압가스 안전관리자 선임 기준을 완화한다.

반도체 등 제조업 생산시설에 대한 고압가스법 적용을 완화하고, 소화설비 관련 중복 인허가, 검사 관련법을 일원화해 적용하기로 했다.

박일준 2차관은 “반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”며 “앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴해 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.