원익머트리얼즈(대표이사 사장 한정욱)가 세미콘 코리아 2023에서 반도체용 프리커서 및 에칭가스 신제품, 암모니아 수소 등 신규품목 등을 적극 소개하며, 향후 출시 및 판매에 자신감을 보였다.

원익머트리얼즈는 1일부터 3일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아 2023에 참가했다.

이번 전시회에서 원익머트리얼즈는 반도체용 특수가스 제품군 및 프리커서, 암모니아 수소 등 자사의 공급능력을 소개하고, 고객들과 비즈니스 미팅을 진행했다.

특히 이번 전시회에서는 지난 5∼6년 동안 R&D를 진행하고, 이제 본격적인 제품 공급을 앞두고 있는 프리커서에 대한 자신감을 보였다.

원익머트리얼즈는 지난 2016년 미국의 노바켐을 인수하고 유전체, 금속, 반도체 등 다양한 박막을 증착하기 위한 ALD/CVD 프리커서 및 공정 솔루션을 연구 개발해 왔다.

High K 프리커서, Si ALD/CVD 프리커서, Metal ALD/CVD 프리커서 등을 제품화하고 있다.

그러한 노력의 성과로 최근에는 제품 개발이 완료돼 고객사 검증이 진행되고 있다.

프리커서 제품 공급이 이뤄진다면 원익머트리얼즈의 실적 향상에 큰 영향을 미칠 것으로 기대된다.

특수가스는 N2O, NH3, F2 mix, C4F8, Xe, CO2, Si2H6, GeH4 Mix, CH2F2 등 다양한 반도체 및 디스플레이용 특수가스를 제조, 공급하고 있다.

또한 지난해 선보인 에칭가스인 COS(황화카보닐, Carbonyl sulfide)도 지난 2022년 공장 가동을 시작했고, 현재 고객사에 공급 중이다. 2023년에는 공급을 더욱 확대해 나갈 예정이다.

여기에 암모니아를 이용한 청정 수소 생산 계획도 본격 시동을 걸 예정이다. 몇 년 전부터 R&D를 진행해 왔으며, 올해 내 양산 기술로 검증한다는 방침이다.

이와 함께 지난해 특수를 누렸던 반도체용 희귀가스 공급도 만전을 다해 올해도 안정공급에 힘쓰겠다고 밝혔다.