키슬리, S530 파라미터 테스트 시스템 처리 속도 및 정확도 향상

2011년 3월 7일 – 첨단 전자 계측기 및 시스템을 선도하는 키슬리 인스트루먼츠 한국지사 (Keithley Instruments, Inc., 지사장 양석용)는 S530 파라미터 테스트 시스템의 여러 부분을 향상 시켜 반도체 산업 라인에 적용 가능한 가장 경제적이며 완전 자동 양산용 파라미터 테스터를 발표했다. 이 제품군은 높은 무결성의 신호 스위칭을 위한 빠른 처리 속도가 특징인 키슬리의 새로운 스위치 메인프레임 추가, 저저항 측정 정확도 향상을 위한 프로브 카드에서의 완전한 켈빈(Kelvin) 측정 기능, 민감한 시스템 계측기를 고전압으로부터 보호하는 새로운 하드웨어 보호 모듈, 전체 범위의 “프로브 업(Probe Up)” 시스템 사양 및 진단 툴 등이 새롭게 개선되었다. 자세한 내용은 키슬리 온라인 제품 정보 사이트(http://keithley.acrobat.com/p20663354/)에서 확인할 수 있다.

S530 시스템은 다양한 제품을 측정해야 하거나 광범위한 어플리케이션 유연성과 신속한 테스트 계획 개발이 중요한 요소로 작용하는 양산용 파라미터 테스트 환경에 최적화되어 있다. S530은 검증된 소스 측정 기술과 높은 충실도의 신호 경로를 기반으로 하고 있어 업계 최고 수준의 측정 정확도와 반복성을 제공하는 것이 특징이다.

두 가지 강력한 파라미터 테스트 구성 옵션
현재 S530 시스템은 저전류 및 고전압의 두 가지 버전으로 이용 가능하다. 저전류 버전은 임계값 이하 누설, 게이트 누설 등의 특성을 측정하도록 개발되었으며, 고전압 버전은 GaN, SiC 및 Si LDMOS 전력 디바이스에 필요한 브레이크 다운 및 누설 테스트를 위한 것이다. S530 저전류 시스템(2~8개의 SMU 채널)은 프로브 핀 전체에 걸쳐 피코암페어 이하의 측정 분해능과 저전류 가드(Guard) 기능을 제공한다. S530 고전압 시스템(3~7개의 SMU 채널)에는 20mA에 1,000V(최대 20W)까지 소싱할 수 있는 소스-측정 장비(SMU)가 통합되어 있다. 이처럼 구성된 S530 시스템은 프로세스 제어 모니터링, 프로세스 안정도 모니터링 및 디바이스 특성분석에 요구되는 모든 DC 및 C V 측정 어플리케이션을 처리할 수 있다.

다기능 테스트 환경에서의 경제적인 운용에 최적화된 성능
S530 파라미터 테스트 시스템은 테스트 프로젝트 개발 과정 전반에 걸쳐 엔지니어에게 중간 피드백을 제공함으로써 웨이퍼 및 테스트 계획 구성을 단순화하고 속도를 높일 수 있도록 디자인되어 있다. 예를 들어, S530 시스템을 제어하는 ACS(Automated Characterization Suite) 소프트웨어는 완전 자동 모드에서 처리량에 영향을 주지 않으면서 새로운 테스트 스크립트를 양방향으로 테스트할 수 있도록 함으로써 테스트 프로젝트 개발 능률을 향상시킨다. 또한 ACS는 오프라인 테스트 프로젝트 개발 및 테스트 결과 분석에도 사용할 수 있다.

강력한 ACS 소프트웨어
S530 시스템은 다른 여러 키슬리 테스트 시스템에서도 사용되는 강력한 ACS 소프트웨어의 4.3 버전이 채택되었다. 따라서 이를 통해 연구실과 팹 간의 상호 의존성이 개선되고 시스템 학습 속도가 향상되는 것을 기대할 수 있다. ACS는 자동화된 파라미터 테스트에 필요한 모든 요소를 통합형 단일 패키지에 결합함으로써 S530 시스템의 효율과 유연성을 극대화한다.

업계에서 가장 경쟁력 있는 고전압 파라미터 테스트 시스템
모든 S530 시스템은 200V 및 20V 범위 모두에 대해 최대 20W의 소스 또는 싱크 성능을 제공하는 고전력 SMU가 탑재되어 있어 오늘날의 모바일 디바이스에서 주로 사용되는 고전력 디바이스 및 회로를 완벽하게 특성분석 할 수 있다. 이러한 고전력 기능은 애플리케이션의 테스트 대상이 LDMOS Si이든 GaN BJT든 관계없이 디바이스의 성능을 세부적으로 파악할 수 있도록 한다. 그뿐만 아니라 S530 시스템이 메인스트림 디바이스 프로세스를 모니터링하는 데 필요한 피코암페어 이하의 저전류 감도에 영향을 주지 않으면서 고전력 디바이스를 테스트할 수 있도록 하는 역할도 한다. S530 고전압 시스템은 최대 32개의 핀에서 모든 프로브 카드 핀에 1kV를 제공하는 업계 유일의 파라미터 테스터이다. 이를 통해 고전압 및 저전류에 민감한 측정을 싱글 패스(Single Pass) 방식으로 수행하여 고전력 디바이스를 정확하게 특성분석 할 수 있도록 한다. 이 시스템의 고전압 SMU는 20mA에 1,000V(최대 20W)까지 소싱할 수 있다.

측정 무결성 높이는 높은 충실도의 신호 경로
각 S530 테스트 시스템에서는 고성능 스위치 매트릭스와 높은 충실도의 신호 경로를 사용하여 계측기와 테스트 핀 간에 신호의 방향을 제어한다. 이러한 경로의 성능은 상위 전류 및