ST마이크로일렉트로닉스, 확장된 고도 측정 기능의 압력 센서 발표

초소형 실리콘 압력센서,혁신적인 MEMS 기술을 적용하여 최고 정확도의 압력 측정 제공

– 소비가전 및 휴대기기용 MEMS 센서의 세계 1위 공급사 인 ST마이크로일렉트로닉스 (www.st.com)는 자사의 최신 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 센서가 스마트폰과 기타 휴대형 기기에 장착되어, 에베레스트산 정상에서 지하 750m까지 높이의 해발 고도 변화를 가장 정확하게 측정할 수 있다고 발표했다.

신제품 LPS001WP는 혁신적인 기술을 적용하여 최고 해상도의 압력, 즉 고도 측정 기능을 제공하는 소형 실리콘 압력센서로서, 기상 관측소, 챠량 및 산업용 애플리케이션은 물론 스마트폰, 스포츠 시계, 기타 휴대형 기기에 적합하도록 매우 얇고 컴팩트한 패키지로 제공된다.

ST마이크로일렉트로닉스의 MEMS, 센서 및 고성능 아날로그 사업부 총괄 본부장인 베네디토 비냐 (Benedetto Vigna)는 “ST는 MEMS 기술을 통하여 낮은 비용과 높은 정확도로 선형 또는 직각 운동, 압력, 자기장 등과 같은 물리적 파라미터들을 측정할 수 있는 신형 센서를 지속적으로 개발하고 있다.”면서 “소비자의 요구를 충족시켜주는 MEMS 센서의 응용 방법은 우리의 상상력에 의해 좌우된다.”고 말했다.

최우선시되는 타깃 애플리케이션으로는 2차원으로만 위치를 식별할 수 있는 기존의 휴대형 GPS의 기능을 강화하는 것이다. LPS001WP를 적용하면 정확한 위치를 3차원으로 식별할 수 있기 때문에, 휴대전화를 통해 빌딩 내부의 위치뿐만 아니라 층별 위치 정보까지 식별할 수 있어서 화재, 구급, 경찰 등에 응급 전화를 걸 수 있다.

LPS001WP은 -750m~+9000m의 해발고도에 대한 기압인 300-1100mb의 동작 압력 범위를 제공하며, 80cm 고도에 해당하는 최소 0.065mb 단위로 압력 변화를 감지할 수 있다. LPS001WP는 압력센서를 모노리식 실리콘 칩으로 제작할 수 있도록 하는 “VENSENS”라는 ST 독점 기술로 제조된다. VENSENS 기술을 통해 제조된 디바이스는 웨이퍼 간 본딩 작업을 제거할 수 있어서 신뢰성을 극대화할 수 있다.

LPS001WP의 압력센서는 간극 제어와 압력 규정을 통해 형성된 공기공동 (air cavity) 상의 유연한 실리콘 멤브레인 (silicon membrane)에 기반하고 있다. 이 멤브레인은 전통적인 실리콘 미세기계가공 멤브레인보다 매우 작으며, 빌트-인 기계식 스토퍼 (stopper)를 통해 파손이 방지된다. 멤브레인은 압전저항 (piezoresistor)을 내장하고 있는 데, 압전저항은 멤브레인이 외부 압력 변화에 따라 이완됨에 따라