일본 반도체 장비기업 코쿠사이 엘렉트릭(이하 코쿠사이)이 국내 반도체 장비기업 유진테크에 지난달 5일 특허권 4건에 대한 침해소송을 제기했다.
코쿠사이는 150장 웨이퍼를 처리하는 배치(Batch)식 원자증착장비(ALD) Harrier-L과 그보다 적은 수의 웨이퍼를 처리하는 ALD 장비 Harrier-M을 대표적인 침해장비로 제시했다.
*본 기사는 e4ds+ 멤버십 회원에게 제공되는 유료 콘텐츠입니다.
e4ds+ 멤버십에 가입하시고 프리미엄 유료 기사를 경험하세요
유료 웨비나, 컨퍼런스, 컨퍼런스 리뷰 콘텐츠 등을 멤버십 특별 할인가격에 이용할 수 있습니다.
국내 반도체 장비 시장에서 경쟁하고 있는 코쿠사이 엘렉트릭과 주식회사 유진테크가 법정에서 만나게 됐다. 특허권 침해로 피소를 당한 유진테크는 과거 특허청 지원으로 특허 회피 설계를 통해 제품 개발에 성공했다고 알려진 바 있어 이번 소송의 향방이 낳을 파장이 우려되고 있다.