AMEC의 5㎚ 식각장비가 글로벌 반도체 메이커의 생산라인에 본격 투입됐다.

AMEC의 인즈야오 회장은 최근 AMEC의 플라즈마 식각 장비가 글로벌 최첨단 반도체 생산기업의 생산라인에 투입돼 사용되고 있다고 밝혔다.

인즈야오 회장이 언급한 설비는 5㎚ 플라즈마 식각 장비로 인즈야오 회장이 언급한 글로벌 최첨단 반도체 생산기업은 TSMC로 추정된다.

TSMC는 지난해 AMEC로부터 5㎚ 플라즈마 식각 장비를 50여대 도입한 바 있다.

이에 TSMC 최근 도입 및 장비 테스트를 완료하고, 이 장비를 이용해 본격적인 반도체 생산에 들어간 것으로 추측된다.

인즈야오 회장은 5㎚ 플라즈마 식각 장비 이외에도 65㎚에서 14㎚, 7㎚ 장비도 선진 반도체 회사가 사용하고 있다고 밝혔으며, MOCVD설비도 대규모 양산에 투입되고 있다고 밝혔다.

AMEC은 유전체 식각 장비가 주력 상품으로 현재 최고 기술 수준은 5㎚다. 현재 3㎚ 기술을 개발 중인 것으로 알려졌다.