웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 공급하는 글로벌 반도체 장비 제조업체 램리서치(Lam Research Corporation)가 ‘세미콘 코리아 2022’에서 차세대 반도체 기술을 논의한다.

램리서치는 세미콘 코리아 2022의 플래티넘 스폰서로 ‘세미콘 코리아 2022’에서 기조연설, SEMI 기술 심포지엄(SEMI Technology Symposium, 이하 STS), 반도체 인재양성(Workforce Development) 및 다양성, 형평성 및 포용성(Diversity, Equity and Inclusion, DEI) 프로그램을 후원한다고 4일 밝혔다.

‘어드밴스드 리소그래피’ 세션에서 램리서치 자회사 코벤터(Coventor)의 큉펭 왕(Qingpeng Wang) 박사가 ‘가상공정을 활용한 선단면 거칠기가 금속선 저항력에 미치는 영향에 관한 연구'를 주제로 발표한다. 큉펭 왕 테크놀로지스트는 중국 본토 전역에 위치한 고객사들에 반도체 가상공정 기술지원을 담당하고 있다.

‘소재와 공정기술’ 세션에서는 같은 램리서치 자회사 코벤터의 글로벌 반도체 공정과 통합(SP&I)팀의 벤자민 빈센트(Benjamin Vincent) 박사가 ‘반도체 프로세스 모델링을 활용한 로직 설계 분석’에 대해 설명한다. 벤자민 빈센트 박사는 반도체 공정 엔지니어링 분야에서 15년 이상의 경력을 갖고 있으며, 세계 최대 반도체 연구소인 imec에서 어드밴스드 로직 분야에서 에피택시(epitaxy) 분야 연구를 비롯해, 인텔에서 공정/디자인 통합 엔지니어와 매니저로 근무한 반도체 공정기술 전문가다.

같은 세션에서 치핑 리(CheePing Lee) 테크니컬 디렉터는 ‘헤테로 집적화를 위한 새롭고 혁신적인 솔루션’을 주제로 발표한다. 그는 어드밴스드 패키징 세그먼트에 집중하고 있으며 현재는 주요 고객과의 기술 참여 및 지원을 위한 현장 프로세스 팀을 이끌고 있다.

‘플라즈마와 에칭기술’ 세션에서는 메이후아 쉔(Meihua Shen) 박사가 ‘차세대 낸드플래시’를 주제로 발표한다. 메이후아 쉔 박사는 Integrated Technologies Systems Group에서 응용 개발을 책임지고 있다.

기술공학 분야 여성들(Women-in-Technology)이라는 프로그램에서는 램리서치코리아 최초 여성 공정 엔지니어로 입사한 신문정 디렉터가 강연한다. 신문정 디렉터는 첨단산업 내 다양성 강화를 위해 여성 인력의 가능성과 경력 개발에 대한 이야기를 나눌 예정이다. ‘기술공학 분야 여성들’(Women-in-Technology)은 산업계의 다양성, 형평성 및 포용성(Diversity, Equity and Inclusion, DEI) 증진을 위한 강연 프로그램이다.

전문가를 만나다!(Meet the Experts!)라는 프로그램에서는 이재호 램리서치코리아 공정 엔지니어(process engineer)가 반도체 산업의 현장 경험 및 공정 엔지니어 직무 관련 정보를 공유한다. ‘전문가를 만나다’는 반도체 업계로 진로를 고려하고 있는 대학생들에게 현직 전문가들을 만나 볼 기회를 제공하는 반도체 인재양성 프로그램이다.