반도체 공정에 사용되는 에칭 가스는 지구온난화를 유발하는 난분해성 가스가 많이 사용된다. 이에 지구온난화지수가 낮은 대안적인 에칭 가스 개발을 위해 반도체 소재기업이 제조 기업과의 협력을 강화하고 있다.

머크(Merck)가 마이크론 테크놀로지와 손잡고 반도체 생산 시 지구온난화지수(GWP)가 낮은 가스 솔루션을 개발한다고 3일 발표했다.

머크는 마이크론과 함께 1년 간 지구온난화지수가 높은 기존 소재를 대체하기 위해 거듭된 협력을 진행했다. 머크 연구개발 팀이 개발한 지구온난화지수가 낮은 대안적인 에칭 가스에 대해 현재 공정 성능 검증 테스트를 진행 중이다. 목표는 미래의 반도체 생산에 새롭고 더 지속가능한 가스 솔루션을 영구히 도입하는 것이다.

카이 베크만 머크 보드멤버이자 일렉트로닉스 회장은 “지속가능성에는 협력이 필요하며 사일로식 사고방식을 취하거나 회사 안쪽의 영역으로만 스스로를 제한해서는 안 된다"며 "전체 가치 사슬은 함께 더 많이 성취하기 위해 새로운 공동의 길을 모색할 것을 요구받고 있다”고 말했다.

또한 그는 “머크와 마찬가지로 마이크론도 적극적인 지속가능성 목표를 설정했다"며 "마이크론의 성공에 머크가 기여할 수 있어 기쁘다”고 덧붙였다.

존 휘트먼 마이크론 중앙 팀 및 조달 부서 담당 부사장은 “마이크론이 새롭게 설정한 목표는 당사 글로벌 운영에 따른 배출량을 2020년 대비 2030년까지 42% 감소시키는 것이다"라며 "마이크론은 넷제로(net-zero) 약속을 지키기 위해 다각화된 접근법을 취하고 있다"고 밝혔다. 그는 "이를 위해선 △첨단 저감 장비에 대한 투자 △지구온난화지수가 낮은 가스의 우선적 사용 △에너지 효율적인 장비 구매 △화석 연료로 생산되는 에너지 대신 재생 에너지 구입 등이 포함된다”고 설명했다. 

머크와 마이크론이 다져온 비즈니스 관계는 오랜 시간 지속되며 깊은 신뢰를 다져왔다. 지구온난화지수가 낮은 새로운 가스에 대한 테스트는 두 기업 간 지속가능성 영역 협력의 시작일 뿐이라고 밝혔다. 향후 건식 식각과 챔버 세정에서 사용되면서 지구온난화지수가 높은 다양한 에칭 가스를 대체할 신소재를 발견하기 위해 연구하며 지속가능성 목표 달성에 기여할 계획을 전했다.