다이킨 코리아가 반도체용 불소 제품 및 식각가스 등을 세미콘 코리아 2023에 선보이며, F계열 세계 최고 기술력을 과시했다.

다이킨 코리아는 지난 1일부터 3일까지 삼성동 코엑스에서 개최된 ‘세미콘 코리아 2023’에 참가했다.

이번 전시회에서 다이킨은 불소수지 관련 제품 및 불소수지 도료, 에칭 가스 등 F(불소) 관련 제품을 전시했다.

에칭 가스는 국내 당진공장에서 생산하는 CH2F2, C4F8, COS, Low GWP 1. Low GWP 2 등을 비롯해 오사카 공장에서 생산하는 CF4, CHF3, 중국 생산의 C4F6 등을 소개했다.

에칭가스와 관련해 다이킨은 원료에서부터 완제품까지 그룹내에서 일관 생산하고 있으며, 많은 촉매 합성기술을 보유하고 있다. 또한 많은 불소화합물에 관한 에칭 성능을 평가하는 기술을 보유하고 있다.

또한 이번 전시회에서는 에칭제나 제조프로세스·배관시스템에 필요한 탱크, 웨이퍼캐리어, 튜브, 링 등 불소 제품 및 불소 제품을 활용한 인프라 소재를 선보였다.

이외에도 오존파괴지수 제로 및 낮은 GWP 등 뛰어난 환경성능의 불소계 용제를 선보이며, 온난화 이슈에 적극 대응했다.