SK하이닉스와 미코세라믹스가 반도체 CVD 장비용 고온 히터의 기술개발과 성능평가, 구매에 손을 맞잡았다.

SK하이닉스와 미코세라믹스는 28일 미코세라믹스 본사에서 ‘반도체 CVD 장비용 고온 히터에 관한 업무 협약’을 체결했다.

양사는 국내 소재·부품·장비 산업 경쟁력 강화와 기술 자립화를 위해서 수요기업과 공급기업의 긴밀한 협력이 필수적이라는 공통 인식하에 반도체 CVD 장비용 고온 히터에 관해 기술개발·성능평가·구매에 있어 최선을 다해 협력할 것을 약속했다.

반도체 CVD 장비용 고온 히터는 반도체 증착(蒸着) 공정장비에 소요되는 핵심부품으로 실리콘 웨이퍼를 균일한 고온 상태(550℃ 이상)로 유지시켜 실란계 증착물질 등이 균일하게 증착될 수 있도록 하는 역할을 한다.

미코세라믹스는 미코로부터 반도체 장비용 부품 사업에 전문화하기 위해 2020년 물적분할한 기업으로서, 반도체 장비용 세라믹 히터, 정전척(ESC), 소모성 세라믹 부품 등 생산에 특화된 기술을 보유하고 있는 기업이다.

최근 일본이 세계시장의 95% 이상을 차지하고 있는 품목인 ‘반도체 CVD 장비용 고온히터’를 개발하는 데 성공했으며, 420억원을 투자해 年 3,000개를 생산할 수 있는 공장을 신설 중으로 그간 수입에 의존하던 품목의 국내 공급기반이 확보될 것으로 기대되고, 나아가 해외 수출도 가능할 것으로 예상된다.

업무 협약에 참석한 산업통상자원부 성윤모 장관은 “오늘 업무협약과 같은 연대와 협력의 움직임이 우리 소부장 산업 생태계 전반으로 확산되고, 소부장 산업, 나아가 우리 제조업의 성장으로 이어지기를 기대한다”고 언급했다.