반도체 노광장비 세계 1위 기업인 네덜란드 ‘ASML’이 화성 반도체 클러스터에 2,400억을 투자하며, 국내 첨단 장비, 소재, 부품 등의 공급 안정성 강화가 기대된다.

ASML은 18일 화성시 석우동 ASML 코리아 사옥에서 화성시와 ‘ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약’을 체결했다.

이 자리에는 피터 베닝크 ASML 회장, 이우경 ASML 코리아 대표, 오병권 경기도지사 권한대행, 문승욱 산업통상자원부 장관, 서철모 화성시장 등이 참석했다.

이번 협약에 따라 ASML은 오는 2024년까지 화성시 동탄 2신도시 도시지원시설용지 약 1만6,000㎡ 부지에 총 2,400억원을 투입해 기존의 본사를 확장하고 1,500명을 수용할 수 있는 오피스와 심자외선(DUV)·EUV 트레이닝센터, 재제조 센터, 체험센터 등을 갖춘 반도체 클러스터를 조성할 예정이다.

특히 반도체 체험센터에는 관내 학생을 위한 과학캠프 등도 운영된다.

이날 행사에 앞서 문승욱 장관과 피터 베닝크 CEO가 면담을 가졌다.

면담에서는 최근 반도체 업황 및 기술동향, 글로벌 반도체 공급망 이슈, ASML 신규 투자 관련 국내기업과 협력 강화 방안 등에 대해 논의됐다.

또한 피터 베닝크 CEO는 EUV 노광장비의 신속한 국내 공급을 위해 작년에 건의했던, 고압가스안전관리법 상 중간검사 방식이 개선된 부분에 사의를 표했다.

EUV 노광장비는 내부에 고압가스 제조설비가 소규모 패키지 형태로 들어가 있어 ‘고압가스안전관리법’ 상 일반제조 허가 대상으로 기존에는 가스안전공사가 중간검사를 현지(네덜란드)에서 실시하고 국내 설치 후 완성검사 실시로 중간검사 소요되는 기간으로 EUV장비의 신속한 국내 도입에 애로가 있었다.

이 부분이 올해 3월에 고압설비 부분이 특수형태임을 고려해, 네덜란드 국제공인기관의 검사결과를 중간검사로 대체 인정이 됐다.

문승욱 산업부 장관은 “ASML 화성 반도체 클러스터 투자 협약 체결을 축하하며, 지난 5월 발표된 ‘K-반도체 전략’을 통해 이번 투자를 포함한 반도체 분야 민간투자를 정부차원에서 적극 뒷받침할 계획”이라며 “향후 투자 진행과정에서의 애로사항 해소도 산업부가 경기도·화성시와 협력해 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.

피터 베닝크 ASML 회장은 “한국시장은 1996년부터 함께해 온 매우 중요한 시장”이라며 “한국 정부가 보여주신 적극적인 협조에 감사드리며, 한국 반도체 산업에 기여할 수 있길 기대한다”고 말했다.