ASML의 화재 발생으로 EUV 장비 생산 시설의 피해가 발생해 삼성전자 및 SK하이닉스의 EUV 장비 도입이 일부 지연될 가능성이 높아지고 있다.

ASML은 3일 베를린 공장에서 화재가 발생해 일부 생산시설이 차질을 빚고 있다고 밝혔다.

이번 화재는 베를린 현장에 있는 생산 건물 한 동의 일부에서 발생했다.

해당 건물의 일부에서 생산이 이미 재개된 상태이고, 다른 건물은 화재 피해 없이 모두 정상가동 중인 것으로 전해졌다.

7일 발표한 1차 조사결과에 따르면 계측(metrology) 및 검사 출력(output) 계획에는 베를린에서 만든 구성 요소가 포함돼 있지 않으므로 영향이 없는 것으로 발표했다.

DUV의 부품 생산에는 일부 영향이 있었지만 DUV의 생산과 매출에는 영향 없을 것으로 예상됐다.

EUV 장비와 관련해서는 EUV 시스템 모듈인 웨이퍼 클램프의 생산설비 일부가 이번 화재의 영향을 받은 것으로 전해졌다.

현재 EUV 생산물량과 서비스 모두 고객에 대한 잠재적 영향을 최소화하는 방향으로 복구 계획을 수립 중으로 회사는 밝혔다.

이와 관련해서 ASML은 삼성, SK하이닉스에 EUV 노광장비를 공급하는 유일한 업체이기 때문에 국내 반도체 업계에 영향을 줄 것으로 예상된다.

우리나라는 2021년 1분기 ASML 장비 도입 비중 44%를 차지했고, 2분기에는 39%를 차지했다.

특히 우리나라는 세계에서 대만과 함께 가장 많은 EUV 장비를 수입하고 있다.

외신에 따르면 ASML의 EUV 장비 리드타임은 12∼18개월이며 재생산에 차질이 있을 경우, 이는 더 길어질 수 있는 것으로 전해졌다.

또한 ASML이 다른 공장에서 부품을 조달할 가능성이 높아지고 있어, EUV 공급 차질이 빠른 시일 내에 복구될 수도 있을 것으로 예상되고 있다.

국내 반도체 업계에서는 삼성전자의 경우 최근 14나노 DDR5 D램 양산에 EUV 장비를 투입해 생산성을 20% 향상시킨 바 있고, 최신 5나노 파운드리 공정에도 EUV 장비를 투입하고 있다.

또한 삼성전자 평택 P3 장비 발주 시기가 올해 1분기에서 2분기 사이에 진행될 것으로 보여 차질을 빚을 가능성도 배제할 수 없다.

EUV 장비의 경우에는 첨단 공정에 사용된다.

최근 반도체 최첨단 경쟁이 치열한 가운데 이번 사고가 발생해 최첨단 공정 기술 개발에도 차질을 줄 것으로 일부는 예상하고 있다.

이번 사고와 관련해 ASML은 1월19일 발표할 2021년 결산 및 2022년 전망 발표에서 화재 상황에 대해 자세하게 밝히겠다고 언급했다.