2025 e4ds Tech Day
반도체 AI 보안 인더스트리 4.0 자동차 스마트 IoT 컴퓨터 통신 특수 가스 소재 및 장비 유통 정책 e4ds plus

㈜후성·UNIST, Low GWP 식각기술 개발 본격화

기사입력2022.12.20 09:20




 
개방형 공동 연구 플랫폼 구축

UNIST(총장 이용훈)와 ㈜후성이 Low GWP 식각기술 개발 공동 연구에 나서며, 산학 융합 연구 및 반도체 소재 발전 등 미래기술 개발이 기대된다.

UNIST는 15일 제4공학관(110동)에서 ‘후성-UNIST 공동 연구 플랫폼 개소식’을 개최했다.

이번 개소식의 목적은 반도체 가스 분야의 울산지역 대표기업인 ㈜후성과 UNIST 간에 Low GWP 식각기술  탄소배출량이 적은 반도체 소자 형성 기술 개발을 위한 개방형 공동 연구 플랫폼 구축을 위함이다.

이 날 개소식에는 허국 ㈜후성 대표이사, 안효대 울산시 경제부시장, 김일환 울산테크노파크 단장, 이용훈 UNIST 총장, 김성엽 공과대학장, 정홍식 반도체 소재·부품 대학원장, 신태주 연구지원본부장 등이 참석했다.

개소식은 ㈜후성-UNIST 공동 연구 플랫폼 소개, 축사 및 현판식 순으로 진행됐다.

이용훈 총장은 “㈜후성-UNIST 공동 연구 플랫폼을 통해 산학 연구와 인재양성을 동시에 할 수 있게 됐다”며 “대학과 기업 뿐 아니라 울산시와 더 나아가서 우리나라 반도체 발전에 크게 기여할 것으로 기대된다”고 밝혔다.

향후 공동 연구 플랫폼을 통해 ㈜후성과 UNIST는 Low-GWP 식각용 가스 및 식각 기술 개발, 차세대 반도체용 공정 기술 및 소재 개발, 산학 기술 교류회를 통한 차세대 원천 연구 과제 발굴과 핵심 인재 양성 협력에 힘쓸 예정이다.