글로벌 반도체 노광장비를 공급하는 기업인 ASML이 국내 재제조센터 및 R&D센터 건설을 위한 투자를 본격화한 가운데 비슷한 시기 글로벌 반도체 장비 공급 기업들의 국내 R&D 확대가 활발한 것으로 관측됐다.

15일 산업통상자원부에 따르면 ASML이 화성 뉴 캠퍼스가 착공을 개시하면서, 글로벌 반도체 장비 시장에서 60% 이상을 차지하는 상위 4대 기업들 모두가 한국에 R&D 센터 등의 투자를 확대하고 있어 국내 반도체 산업의 기술 경쟁력 확보에 큰 도움이 될 것으로 기대된다고 밝혔다.

ASML은 노광장비 재제조센터와 트레이닝 센터 및 체험관 등의 신설을 위해 2,400억원 이상의 투자를 계획했으며 16일 경기도 화성에서 뉴 캠퍼스 기공식이 진행될 예정이다.

어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)는 지난 7월 경기도에 R&D 센터 설립을 위한 투자 의향 업무협약을 산업통상자원부와 체결한 바 있다. 차세대 메모리 반도체 장비 연구개발을 위한 R&D센터 신설을 위한 최종 투자 규모와 위치 등은 아직 확정되지 않은 것으로 전해지고 있다.

램리서치는 지난 4월 반도체 제조장비 및 공정 기술 개발을 위한 최첨단 연구개발 시설인 ‘램리서치 코리아테크놀로지 센터’를 개관했다. 용인 지곡 산업단지에 위치한 R&D 센터는 미국 및 유럽 연구소와 함께 램리서치의 R&D 주요 거점으로서 3만 제곱미터 규모의 부지에 초기 투자 비용으로 5,000만달러(한화로 약 650억원)를 투입한 것으로 알려져 있다.

일본 반도체 장비회사인 도쿄일렉트론(TEL)도 지난해 11월 국내에 반도체 제조 장비 연구개발 센터 증설을 위한 투자를 발표했다. 인프라 증설을 위해 1,000억원 규모의 투자를 밝힌 TEL은 경기도 동탄 및 발안 연구기지를 증축해 장비 개발 및 테스트를 위한 클린룸 규모 확대에 활용할 예정이라고 밝혔다. 연구센터는 2023년 증설이 완료될 것으로 예상했다.

가트너 조사에 따르면 2021년 기준 반도체 장비사 기업들의 시장 점유율에서 AMAT 18.6%, ASML 18.1%, 램리서치 15%, TEL 13.4% 순으로 나타났다.

산업부는 외국인 투자 환경 개선 추진과 함께 국가경쟁력 강화를 위해 규제 완화, 인센티브 강화 등 첨단기업의 투자 유치에 노력을 기울이고 있다. 문동민 무역투자실장은 “ASML 센터가 한국의 반도체 초강대국 달성전략 추진과 함께 한국과 네덜란드 간 첨단 산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것”이라고 강조했다.