중국 최초로 12인치 웨이퍼 재생시설의 양산 시설이 가동에 성공하며, 그간 일본에 의존하던 웨이퍼 재제조를 자체적으로 생산할 수 있을 것으로 보인다.

외신에 따르면 최근 중국 기업인 허페이 울트론 반도체(Hefei Ultron Semiconductor Co)가 동부 하누이(Hanui)성의 실리콘 웨이퍼 재생시설에서 양산에 성공한 것으로 전해졌다.

이 시설은 중국내에서 손상되거나 오염된 12인치 웨이퍼를 회수해 재생산하는 시설로 2020년 3월에 착공됐으며, 총 투자액은 약 1억5,400만달러로 알려지고 있다.

재제조할 수 있는 캐파는 연간 168만개의 웨이퍼에 달하며, 연간 120만개의 속도로 다른 제조부품을 세척할 수 있는 추가 용량이 설치될 것으로 전해지고 있다.

지금까지는 중국내 반도체 불량 웨이퍼의 경우 전량 일본으로 보내 재제조해 왔으나 이번 공장의 준공 및 양산 성공으로 인해 상당한 규모의 원가 절감이 진행될 것으로 예상되고 있다.

반도체 제조 공정은 엄격하게 통제된 상태에서 진행되지만 제조 단계에서 정전 또는 오염된 물질 사용으로 인해 불량이 발생하기도 한다.

불량 발생시 웨이퍼를 사용할 수 없기 때문에 웨이퍼를 다시 사용할 수 있도록 웨이퍼 재생이 이뤄지는데 우선 다이아몬드 연마 디스크를 사용해 에칭된 층을 연마하고 웨이퍼에서 구조를 제거한다.

이어 웨이퍼 표면을 다시 원래 상태로 화학적으로 연마하고, 마지막으로 전체 웨이퍼 표면을 화학적으로 세척한다.

그런 다음 재생된 웨이퍼를 포장해 고객에게 보내면 고객은 이를 제조 파이프라인에서 다시 사용할 수 있다.