반도체용 CO(일산화탄소)의 수요가 급증하며, 주요 반도체 업체에 공급을 담당하던 국내 기업과 국내에 CO를 공급하던 일본 기업이 국내에 자체 공장을 건설하고 있어 국내 CO 공급 경쟁이 격화될 것으로 주목되고 있다.

최근 업계에 따르면 국내 주요 반도체 메이커에 반도체용 CO를 공급하는 D社가 자체 CO 생산을 위한 공장을 건설하고 있는 것으로 알려졌다.

D社는 삼성전자 등에 CO를 공급해 왔는데, 지금까지는 일본의 S社 제품을 수입해 공급해 왔다.

이런 가운데 일본의 S社도 경기도 화성지역에 최근 생산 공장을 건설하고 있는 것으로 알려졌다.

이 공장이 완공될 경우 D社를 통해 예전처럼 공급할 것인지, 아니면 직접 반도체 메이커에 공급할 것인지는 알려지지 않았지만, 업계 관계자들은 D社가 자체 공장을 건설하는 만큼 각자의 길을 가지 않겠느냐는 전망이다.

CO는 반도체 식각용 분위기 가스로 주로 쓰이는 특수가스다. C4F6(육불화부타디엔) 등 CF 계열의 식각가스의 성능을 높이고 공정 효과를 극대화하기 위해 함께 쓰이는데, CO의 투입량을 증가시킬수록 식각의 효율성이 높아지는 것으로 알려지고 있다.

특히 최근 반도체 미세화 및 낸드 플래시 고단화로 인해 식각 가스의 수요량이 늘고 있는데 업계 전망에 따르면 CO의 수요는 우상향하며, 1∼2년내 2∼3배 증가할 것이라는 전망이다.

국내 CO 유통은 대부분이 수입 유통되고 있는 것으로 알려졌다.

반도체용 CO는 생산이 까다로운 것으로 알려져 있는데 순도 보장을 위해 대부분 개미산을 이용한 제품을 사용하는 것으로 알려졌다.

일반 화학공정에서 나오는 CO의 경우 철(Fe) 성분이 많은데 이 경우 CO2(이산화탄소)로 전환되는 경우가 많아 반도체용으로 사용하기에는 문제가 있는 것으로 알려졌다.

또한 CO의 경우 가격도 비싸고, 순도와 패키징을 위한 기술력이 많이 필요해 지금까지는 일본, 중국 등에서 수입해 사용해 왔다.

향후 국내 반도체용 수요 증가와 함께 국내 CO 생산도 지속 증가할 것으로 업계는 전망하고 있다.